The relationship between visible light emission and species fraction of the hydrogen ion beams extracted from 2.45 GHz microwave discharge
Abstract
La relación entre las emisiones de Balmer-α y la banda de Fulcher con H +, H + extraído
2 y H +
3 iones
se demuestra para una descarga de microondas de 2,45 GHz. Espectros de masas de iones y mediciones ópticas de
Las emisiones de las bandas Balmer-α y Fulcher se han obtenido con un filtro Wien que tiene una ventana óptica
en el eje de la cámara de plasma. El haz de aproximadamente 1 mA se analiza para diferentes
condiciones simultáneamente con la medición de las emisiones de luz ambas con resolución temporal.
El uso de emisiones de luz visible como una valiosa herramienta de diagnóstico para monitorear la fracción de especies de los haces extraídos The relationship between Balmer-α and Fulcher-band emissions with extracted H+, H+
2 , and H+
3 ions
is demonstrated for a 2.45 GHz microwave discharge. Ion mass spectra and optical measurements of
Balmer-α and Fulcher-band emissions have been obtained with aWien Filter having an optical viewport
on the plasma chamber axis. The beam of approximately 1 mA is analyzed for different plasma
conditions simultaneously with the measurement of light emissions both with temporal resolution.
The use of visible light emissions as a valuable diagnostic tool for monitoring the species fraction of
the extracted beams is proposed
The relationship between visible light emission and species fraction of the hydrogen ion beams extracted from 2.45 GHz microwave discharge
Tipo de Actividad
Artículos en revistasISSN
0034-6748Palabras Clave
plasma ECRECR plasmas