Diseño de un banco de pruebas para un reactor de plasma de hidrógeno
Fecha
01/08/2018Autor
Estado
info:eu-repo/semantics/publishedVersionMetadatos
Mostrar el registro completo del ítemResumen
Las fuentes de iones son máquinas capaces de producir haces
de partículas cargadas. Son equipos ampliamente utilizados en el
ámbito industrial cuyas aplicaciones van desde la implantación
iónica en semiconductores o los tratamientos médicos contra el
cáncer a los motores de satélites conocidos como thrusters. La
implantación iónica en materiales no conductores constituye,
también, un amplio campo industrial en el que las fuentes de
iones juegan un papel fundamental [1]. Todas las fuentes de iones
generan un plasma físico del que luego se extraen los iones para
formar un haz. Las características de este tipo de máquinas en
cuanto a fiabilidad, eficiencia y reproducibilidad así como las
características de los haces de partículas que se extraen de las
ellas están íntimamente ligadas a los parámetros del plasma que
generan y, éstos a su vez, dependen en gran medida del diseño
ingenieril de la máquina.
En este trabajo se muestra el diseño de un banco de pruebas
construido con la finalidad de estudiar la influencia del diseño
ingenieril de un reactor de plasma en las características del mismo
y, en consecuencia, en las de los haces de partículas que del él
puedan extraerse. El banco de pruebas, que se ha llamado TIPS:
Test-bench for Ion Sources Plasma Studies, consiste un reactor de
plasma de tipo ECR (Electron Cyclotron Resonance) que ha sido
sometido a modificaciones estructurales importantes para dotarlo
de la flexibilidad que un estudio experimental de ingeniería
requiere.
Palabras clave: reactor de plasma, ingeniería de fuentes de
iones. The ion sources are machines capable of producing beams
of charged particles. They are widely used in the industrial
field where their applications range from ionic implantation
in semiconductors or medical treatments against cancer to
satellite engines known as thrusters. Ionic implantation in nonconductive
materials is also a large industrial field in which ion
sources play a fundamental role [1]. All ion sources generate
a physical plasma from which the ions are then extracted to
form a beam. The characteristics of this type of machines in
terms of reliability, efficiency and reproducibility as well as the
characteristics of the particle beams extracted from them are
closely linked to the parameters of the plasma they generate
and those depend strongly of the engineering design of the
machine.
This paper shows the design of a test-bench built with the
purpose of studying the influence of the engineering design
of a plasma reactor on its characteristics and, consequently,
on the particle beams that can be extracted from it . The
test-bench, which has been called TIPS: Test-bench for Ion
Sources Plasma Studies, consists of an ECR-type plasma reactor
(Electron Cyclotron Resonance) that has undergone important
structural modifications to give it the flexibility that an
engineering experimental study requires
Diseño de un banco de pruebas para un reactor de plasma de hidrógeno
Tipo de Actividad
Artículos en revistasISSN
2346-2183Palabras Clave
reactor de plasma, ingeniería de fuentes de iones.plasma reactor, ion source engineering.