First tests of the ion irradiation and implantation beamline at the CMAM

Jimenez Rey, David, Benedicto Córdoba, Marcos, Muñoz Martín, Angel, Bachiller Perea, Diana, Olivares, José, Climent Font, Aurelio, Gomez Ferrer, Begoña, Rodriguez, A., Narros, Jaime, Maira, A., Alvarez, Jorge, Nakbi, A., Zucchiatti, A., de Aragón, Fernando, García, J.M., Vila, R.

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Artículos
2014
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Abstract

La implantación en línea de haz y la irradiación del acelerador de iones tándem del Centro de Micro Análisis de Materiales (CMAM), en Madrid, se ha terminado recientemente con un sistema de monitoreo y barrido del haz, un horno/criostato.
The implantation and irradiation beamline of the Tandem ion accelerator of the Centro de Micro Análisis de Materiales (CMAM), in Madrid, has been recently completed with a beam sweep and monitoring system and a cryostat/furnace.
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Keywords

Materiales, acelerador, implantación, criostato, horno, barrido, iones, Materials, accelerator, implantation, cryostat, furnace, beam sweep, ions

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