The relationship between visible light emission and species fraction of the hydrogen ion beams extracted from 2.45 GHz microwave discharge

Abstract

La relación entre las emisiones de Balmer-α y la banda de Fulcher con H +, H + extraído 2 y H + 3 iones se demuestra para una descarga de microondas de 2,45 GHz. Espectros de masas de iones y mediciones ópticas de Las emisiones de las bandas Balmer-α y Fulcher se han obtenido con un filtro Wien que tiene una ventana óptica en el eje de la cámara de plasma. El haz de aproximadamente 1 mA se analiza para diferentes condiciones simultáneamente con la medición de las emisiones de luz ambas con resolución temporal. El uso de emisiones de luz visible como una valiosa herramienta de diagnóstico para monitorear la fracción de especies de los haces extraídos

The relationship between Balmer-α and Fulcher-band emissions with extracted H+, H+ 2 , and H+ 3 ions is demonstrated for a 2.45 GHz microwave discharge. Ion mass spectra and optical measurements of Balmer-α and Fulcher-band emissions have been obtained with aWien Filter having an optical viewport on the plasma chamber axis. The beam of approximately 1 mA is analyzed for different plasma conditions simultaneously with the measurement of light emissions both with temporal resolution. The use of visible light emissions as a valuable diagnostic tool for monitoring the species fraction of the extracted beams is proposed