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Título : Growth dynamics of reactive-sputtering-deposited AlN films
Autor : Auger, M.A.
Vázquez Burgos, Luís Fernando
Sánchez, O.
Jergel, M.
Cuerno Rejado, Rodolfo
Castro Ponce, Mario
Fecha de publicación : 15-jun-2005
Resumen : 
Descripción : Artículos en revistas
URI : 10.10631.1937467
ISSN : 0021-8979
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