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http://hdl.handle.net/11531/7770
Título : | Growth dynamics of reactive-sputtering-deposited AlN films |
Autor : | Auger, M.A. Vázquez Burgos, Luís Fernando Sánchez, O. Jergel, M. Cuerno Rejado, Rodolfo Castro Ponce, Mario |
Fecha de publicación : | 15-jun-2005 |
Resumen : | |
Descripción : | Artículos en revistas |
URI : | 10.10631.1937467 |
ISSN : | 0021-8979 |
Aparece en las colecciones: | Artículos |
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