1. Repositorio Universidad Pontificia Comillas

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Fecha de publicaciónTítuloAutor(es)
20Nanoscale selective plasma etching of ultrathin HfO2 layers for advanced complementary metal-oxide-semiconductor devicesAnguita, José; Benedicto Córdoba, Marcos; Álvaro, Raquel; Galiana Blanco, Beatriz; Tejedor Jorge, Paloma
22Nanostructuring of ultra-thin HfO2 layers for high-k/III-V device applicationBenedicto Córdoba, Marcos; Anguita, José; Álvaro, Raquel; Galiana Blanco, Beatriz; Molina Aldereguia, Jon; Tejedor Jorge, Paloma
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