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http://hdl.handle.net/11531/12068| Título : | Thermal stability of HfO2-on-GaAs nanopatterns |
| Autor : | Galiana Blanco, Beatriz Benedicto Córdoba, Marcos Vázquez Burgos, Luís Molina Aldereguia, Jon Tejedor Jorge, Paloma |
| Fecha de publicación : | 26 |
| Resumen : | Hemos evaluado el efecto de recocido térmico en la morfología, la fase cristalina y la composición elemental de nanopatrones de dieléctricos de alta K HfO2-on-GaAs a 500-620C mediante el uso de microscopía de fuerza atómica (AFM), de alta resolución microscopía electrónica de transmisión ( HRTEM) y espectroscopia de rayos X de energía dispersiva (EDS). We have evaluated the effect of thermal annealing on the morphology, crystalline phase and elemental composition of high-k dielectric HfO2-on-GaAs nanopatterns at 500 620 C by using atomic force microscopy (AFM), high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS). |
| Descripción : | Artículos en revistas |
| URI : | http://hdl.handle.net/11531/12068 |
| ISSN : | 2040-3364 |
| Aparece en las colecciones: | Artículos |
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