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Thermal stability of HfO2-on-GaAs nanopatterns

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Ver/
Thermal stability of HfO2-on-GaAs nanopatterns (nanoscale).pdf (566.3Kb)
Fecha
26/04/2012
Autor
Galiana Blanco, Beatriz
Benedicto Córdoba, Marcos
Vázquez Burgos, Luís
Molina Aldereguia, Jon
Tejedor Jorge, Paloma
Estado
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
Metadatos
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Resumen
Hemos evaluado el efecto de recocido térmico en la morfología, la fase cristalina y la composición elemental de nanopatrones de dieléctricos de alta K HfO2-on-GaAs a 500-620C mediante el uso de microscopía de fuerza atómica (AFM), de alta resolución microscopía electrónica de transmisión ( HRTEM) y espectroscopia de rayos X de energía dispersiva (EDS).
 
We have evaluated the effect of thermal annealing on the morphology, crystalline phase and elemental composition of high-k dielectric HfO2-on-GaAs nanopatterns at 500 620 C by using atomic force microscopy (AFM), high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS).
 
URI
http://hdl.handle.net/11531/12068
Thermal stability of HfO2-on-GaAs nanopatterns
Tipo de Actividad
Artículos en revistas
ISSN
2040-3364
Palabras Clave
Nanotecnología, high-k, III-V, HfO2, GaAs, patrones, recocido, AFM, TEM, EDS, transistor
Nanotechnology, high-k, III-V, HfO2, GaAs, patterns, annealing, AFM, TEM, EDS, transistor
Colecciones
  • Artículos

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